微細加工技術(shù)期刊文獻

• 基于MEMS的無閥泵研究進展 作者：白蘭; 馮志慶; 吳一輝；大連民族學院; 大連; 116600; 大連民族學院; 大連; 116600; 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所; 長春130033
• 電感耦合等離子體源的研究進展 作者：楊定宇; 蔣孟衡；成都信息工程學院光電技術(shù)系; 成都; 610225; 成都信息工程學院光電技術(shù)系; 成都; 610225
• 光刻結(jié)合熱解制備高深寬比碳微結(jié)構(gòu)的新方法 作者：湯自榮; 姚園媛; 史鐵林; 廖廣蘭；華中科技大學; 機械科學與工程學院; 武漢; 430074; 武漢光電國家試驗室; 武漢; 430074; 華中科技大學; 機械科學與工程學院; 武漢; 430074; 武漢光電國家試驗室; 武漢; 430074; 華中科技大學; 機械科學與工程學院; 武漢; 430074; 武漢光電國家試驗室; 武漢; 430074; 華中科技大學; 機械科學與工程學院; 武漢; 430074; 武漢光電國家試驗室; 武漢; 430074
• 基于光刻版的無留膜紫外納米壓印技術(shù)研究 作者：張亞軍; 丁玉成; 盧秉恒；西安交通大學; 機械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室; 西安; 710049; 西安交通大學; 機械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室; 西安; 710049; 西安交通大學; 機械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室; 西安; 710049
• 接近式光刻的角譜法仿真研究 作者：李曉光; 沈連; 鄭津津; 李木軍; 陳有梅；中國科學技術(shù)大學; 機密機械與精密儀器系; 合肥; 230027; 中國科學技術(shù)大學; 機密機械與精密儀器系; 合肥; 230027; 中國科學技術(shù)大學; 機密機械與精密儀器系; 合肥; 230027; 中國科學技術(shù)大學; 機密機械與精密儀器系; 合肥; 230027; 中國科學技術(shù)大學; 機密機械與精密儀器系; 合肥; 230027
• 評價任意面型微光學元件制作誤差的方法 作者：高洪濤; 杜春雷; 張雨東；中國科學院光電技術(shù)研究所微細加工光學技術(shù)國家重點實驗室; 成都610209; 中國科學院研究生院; 北京; 100039; 中國科學院光電技術(shù)研究所微細加工光學技術(shù)國家重點實驗室; 成都610209; 中國科學院光電技術(shù)研究所; 成都; 610209
• 自動微分法求解粒子光學像差的精度分析 作者：李文萍; 顧文琪；中國科學院電工研究所; 北京; 100080; 中國科學院研究生院; 北京; 100039; 中國科學院電工研究所; 北京; 100080
• 超磁致伸縮薄膜性能測試系統(tǒng)研究 作者：何濱; 章良; 宋祖殷；湖南建筑高級技工學校機電系; 長沙; 410015; 空軍駐湖南軍代室; 長沙; 410016; 空軍駐湖南軍代室; 長沙; 410016